在传统产业的应用领域中,对于的需求也随着这些产业的兴衰而出现此起彼落此消彼长,甚至出现行业的淘汰而与无缘,例如照相用胶卷。靶材的结晶粒子直径和均匀性已被认为是影响薄膜沉积率的关键因素。科技的进步和发展,使传统产业发生剧烈的变迁,也使的供求状况出现急剧的变化,这种变化也是导致了的价格出现剧烈波动的因素之一。然而在传统产业不断的和转型中,依然成为选择的关键性材料,用更先进和更科学的工艺和手段,把的独特性能发挥得更淋漓尽致。
什么是靶材绑定?靶材绑定的适用范围、流程?
绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要有三种的方式:压接、钎焊和导电胶。
1.压接:采用压条,一般为了提高接触的良好性,会增加石墨纸、Pb或In皮;
2.钎焊:一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20W/cm2,钎料常用In、Sn、In-Sn;我司采用铟焊绑定技术。
3.导电胶:采用的导电胶要耐高温,厚度在0.02-0.05um。
热压法:ITO靶材的热压制作过程是在石墨或氧化铝制的模具内充填入适当粉末以后,以 100kgf/cm 2~1000kgf/cm 2的压力单轴向加压,同时以1000℃~1600℃进行烧结。25um以下的亚微米布线的需要但却带米了其他的问题:铜与有机介质材料的附着强度低.并且容易发生反应,导致在使用过程中芯片的铜互连线被腐蚀而断路。热压工艺制作过程所需的成型压力较小,烧结温度较低,烧结时间较短。但热压法生产的ITO靶材由于缺氧率高,氧含量分布不均匀,从而影响了生产ITO薄膜的均匀性,且不能生产大尺寸的靶。
以上信息由专业从事银焊料加工的东创贵金属于2024/4/17 10:49:39发布
转载请注明来源:http://tonglin.mf1288.com/dongchuang123-2737061218.html